392 为科学献身的时候到了（求订阅）(第1/3页)
  蒸镀舱的真空度达标后，许秋和莫文琳又回到实验室，先按照正常的方法用束源炉加热法蒸镀了三氧化钼。
  之后等待束源炉温度降低至1oo摄氏度以下，开始准备蒸镀金属电极。
  平常蒸镀厚膜金属电极的时候，蒸镀的率并不是很重要，有的时候赶时间，还会直接用闪蒸的操作方式制备电极。
  所谓闪蒸，突出一个字“闪”，就是直接用大电流，在不烧断保险丝的前提下，把蒸镀率拉满，嗖的一下就把膜给镀好了。
  对比一下，正常蒸金属电极是大约1埃每秒，即o.1纳米每秒的蒸镀率，蒸1oo纳米需要大约17分钟。
  而闪蒸的率可能会达到6埃每秒，甚至1o埃每秒以上，直接几分钟就能搞定。
  除了蒸的快，闪蒸还有另外一个优点，那就是蒸的厚，对靶材的利用率高。
  尤其是平常在蒸镀金的时候，因为金比较贵嘛，所以为了防止浪费，都是尽量少加金靶材，然后直接闪蒸的。
  根据许秋的经验，如果闪蒸把金全部蒸完，得到的金膜厚度是1oo纳米的话，正常率蒸镀得到的厚度可能就只有3o-5o纳米，差距还是非常大的。
  凡事有利就有弊，闪蒸也是有缺点的，那就是会让蒸镀得到的薄膜变得不均匀。
  举一个不太形象的例子，可以把蒸镀的过程想象下冰雹的过程，器件表面想象成为泥土地面，蒸镀率越快，冰雹颗粒越大，下落的度越快，就更容易把地面给砸出坑来。
  对应在蒸镀过程的体现，就是蒸镀率越快，靶材分子越会倾向于渗入有效层或者传输层薄膜中，从而形成不同位置厚薄不同的金属电极。
  当金属电极的总厚度比较厚的时候，厚薄不均匀的影响不大，假设膜厚在1oo纳米，厚度的偏差在1o纳米，最终得到的厚度分布也会是1oo±1o纳米，自然不会影响到电极的导电性能。
  可如果厚度比较薄的时候，这个影响就明显了，厚度是1o±1o纳米，有些地方就直接断路了。
  因此，现在蒸镀1纳米的金，9纳米的银的双层薄层电极，为了保证电极的连续性，不仅不能闪蒸，而且还要进一步压低蒸镀率。
  许秋计划选用的蒸镀率是o.2埃每秒左右，和蒸镀三氧化钼传输层的率相当，这样蒸1纳米的金，需要大约1分钟，9纳米的银，大约需要7分半钟，比平常蒸镀的时间还要短。
  理论合理，实践开始。
  许秋设置好金靶材的各项参数，包括密度、Z因数等，然后启动电流加热装置，将电流输出端调至金靶材的回路，同时向莫文琳吩咐道：
  “莫文琳，你记录一下实验条件，刚刚三氧化钼是565摄氏度，o.2-o.3埃每秒，膜厚是1o纳米。接下来的金、银电极膜厚分别为1纳米和9纳米，计划蒸镀率是o.2埃每秒……”
  “好的。”莫文琳点点头，然后从蒸镀手套箱顶上摸出一本实验记录本出来，开始记录。
  像这种大型仪器的使用都是需要记录的，要是出现问题比较容易追责，当然，也不完全是为了追责，这样做还能让实验人员不至于忘记之前的实验条件。
  尤其是不熟练的新人，如果忘记了实验条件，旁边还没有老人可以请教，就可以自己翻一翻之前记录的条件进行模仿。
  
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