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465 连续突破,剑指17%!(求月票)(第5/6页)
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达到3小时时,最高效率就已经提升到了%。

      之后延长放置时间,从6小时、到9小时,再到12小时,效率变化的幅度并不大,就是o.o2%、o.o3%左右,这样缓慢提升着。

      再之后,继续延长放置时间,效率下降的幅度同样不大,也是o.o2%、o.o3%左右,可以认为是效率在短期内已经趋于了稳定。

      同时,“放置变好”这个现象也不是对所有体系都适用的。

      许秋一共研究了十七种标准体系,现其中只有五种体系,存在“放置变好”的实验现象,另外有八种体系是“放置变差”,还有四种体系是“放置不变”。

      他试着给“放置变好”、“放置变差”以及“放置不变”的体系分别归了归类,然后现:

      “放置变好”、“放置变差”的体系,大多是有效层旋涂后,没有经过退火的体系,“放置不变”的体系,大多是经过退火处理的体系。

      退火这项实验操作,主要影响的是有效层旋涂过后残存的溶剂含量,如果不退火的话,沸点1oo多摄氏度的氯苯,以及沸点更高,可达2oo摄氏度以上的溶剂添加剂dIo等肯定会有所残留。

      因此,许秋认为“放置变好”、“放置变差”、“放置不变”这些实验现象,背后可以归因于:

      在蒸镀舱的真空环境下,器件内残存溶剂挥对有效层形貌的影响。

      对于氯苯、dIo这些溶剂来说,它们在常温常压的条件下不容易挥。

      而在常温低压的条件下,就会逐渐从器件有效层中“跑出来”,扩散到外界的真空氛围中。

      溶剂挥的过程,是需要一定时间的。

      正常蒸镀的过程持续时间只有2小时左右,不足以让有效层内部的残留溶剂完全挥。

      现在把这个时间额外延长3小时以上,就可以让溶剂近乎完全挥。

      溶剂挥的过程中,也将伴随着有效层显微形貌的改变。

      如果这个影响是正面的,反应出来的结果就是“放置变好”,反之,就是“放置变差”。

      在经过退火操作的器件中,因为有效层内残留的溶剂较少,所以可以认为不存在溶剂挥这个过程。

      因此,额外的放置时间对于经由退火处理的器件性能的影响并不大。

      可能长时间放置也会有变化,但在短时间内的表现就是“放置不变”。

      当然,这些都是许秋提出的观点,具体对不对,只能通过不断的实验来检验。

      不过,他自我感觉这套理论没什么问题,至少现阶段的实验结果,是支持他这些推论的。

      许秋决定之后把“真空放置”这个实验操作,与热退火、溶剂退火等并列为一种对加工工艺进行优化的方式。

      具体操作起来,可以晚上蒸镀完成,不打开蒸镀舱,让基片在舱里“闷一晚上”,等到第二天白天过来再进行测试。

      这样做,就是消耗的时间会久一些。

      不过,为了提升器件性能,也是值得付出的成本。

      对于模拟实验室中的影响倒是不大,因为里面蒸镀舱的数量足够多,可以循环利用不同的蒸镀舱进行实验。



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